8月29日，电科装备红太阳光电公司“高密度大尺寸等离子体干法刻蚀装备研发及产业化”项目以第一名的成绩荣获湖南省颠覆性技术创新大赛“十强项目奖”。

　　该项目在行业内首创等离子体干法刻蚀石英舟/石墨舟技术，攻克多项关键技术难题，研制高密度大尺寸等离子体干法刻蚀装备，综合技术达国际先进水平，实现行业内的颠覆性技术突破，重塑光伏电池领域载具清洗技术格局。相比传统湿法清洗技术，刻蚀清洗效率提升85%以上，人工需求降低60%，综合成本降低30%，解决高效TOPCon电池生产效率爬坡瓶颈，将成为光伏新能源技术进步的转折点。

　　（来源/电科装备 陈云青）